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洁净厂房安全技术
1、工业气体管道设计的安全技术,应符合下列规定;
一、氢气管道的支管和放散管上,应设置回火防止器。
二、氢气和氧气管道应设置导除静电装置。
三、各种气体管道应设明显标志。
2、洁净室内使用氢气时,宜在室内设置报警装置。
3、各种气瓶应集中设置在洁净厂房外,当日用气量不超过一瓶时,气瓶可设置在洁净室内